晉豐興業有限公司
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說明:
鈦矽靶SM以熔體冶金生成, 用於耐磨塗層，例:切割工具。交貨形式:濺射靶材 或 電弧陰極，在單一軀塊下，圓形靶材，直徑可達Ø220毫米；單一軀塊下，矩形靶材，寬度最大200毫米、長度最大1100毫米。金屬純度≥99.6％鈦矽成分比例 :90:10 at％85:15 at％80:20 at％
